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液環真空泵在工作時，在一定溫度下，當低壓處的液體壓力低于在該溫度下的汽化壓力，液體開始汽化而產生氣泡，并隨液體進入高壓區時，氣泡破裂，周圍液體迅速填充原氣泡空穴，產生水力沖擊。這種氣泡的產生、發展和破裂現象就稱為汽蝕。
　　在液環真空泵的工作過程中，吸入區域的絕對壓力與被抽系統的絕對壓力是一致的。也就是說，被抽系統的真空度越高，吸入區域的真空度也越高。
　　液環真空泵需要用液體作為工作介質。每種液體在某一溫度下都有對應的飽和蒸汽壓。當吸入區域的絕對壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時，液體越接近沸騰狀態。這時，在吸入區域的工作液表面會產生大量的汽泡，由于液體在工作腔內產生的工作液蒸汽會占據部分工作腔的空間，泵對外的吸氣能力會有所下降。當吸入區域的壓力達到工作液的飽和蒸汽壓時，可以認為工作腔內全部充滿了工作液蒸汽，此時泵對外的吸氣能力接近于0，而此時泵的汽蝕現象也最為嚴重。
　　如果工作液是水，水溫越高，泵的抽氣性能下降越多。液環泵的汽蝕損壞和離心式水泵的汽蝕損壞原理是一樣的，都是在汽泡產生和破裂的部位，金屬表面出現點蝕現象，嚴重的會出現蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在汽蝕部位有較大的殘余應力，還會引起應力釋放，產生裂紋。　　

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