真空泵是從負壓下抽氣、一般在大氣壓下排氣的輸送機械，其目的是造成并維持工藝系統所要求的真空度。煉油和石油化工生產中常用的真空泵有往復真空泵、水環真空泵和噴射真空泵。

(一)往復真空泵

往復真空泵的構造和作用原理與往復壓縮機基本相同，氣缸內外壓差很小，但其壓縮比很大(例如，對于95%的真空度，壓縮比約為20左右)。因此，往復真空泵的吸入和排出活門必須輕巧靈活、啟閉方便;其余隙容積必須很小，同時為了減小余隙中殘余氣體對真空泵抽氣速率的不良影響，常在真空泵氣缸兩頭的內壁上設有連通活塞兩側的平衡氣道，如圖2-58中1所示。在排氣終了時，平衡氣道能使余隙與活塞的另一側短暫時間相通，以便使余隙中的殘存氣體通過平衡氣道流到活塞的另一用側.以降低余隙中氣體的壓力，從而提高了吸氣效率，即提高了容積系數。往復真空泵所產生的極限真空可達2kPa左右(絕壓)。往復真空泵所排送的氣體不應含有液體，如氣體中含有大量蒸氣，必須把可凝性氣體設法除去(一般采用冷凝)之后再進入真空泵內，即往復真空泵屬于干式真空泵。

(二)水環式真空泵

水環真空泵在吸氣中可允許夾帶少量水，屬于濕式真空泵。水環真空泵的結構簡單緊湊，沒有活門，工作安全可靠。但它所能產生的真空度不高，最高可達85%的真空度，且因轉子在水中旋轉，將引起額外的摩擦阻力損失，因而效率較低，約為30%~50%。水環真空泵運轉時，要不斷地補充清水，以維持泵內液封，同時也起冷卻泵體的作用。

如將水環真空泵的進口接大氣，出口接設備時，可作鼓風機用，所產生的風壓不超過98kPa(表壓)。

(三)旋片真空泵

如果要獲得較高真空度時，宜用油封式旋片真空泵，排氣閥浸在油箱中，可以防止氣體回流到氣缸內。氣缸外面設有水套，對氣缸壁進行冷卻。

旋片真空泵可達較高的真空度(極限壓力可達0.06Pa)，但抽氣速率比較小，適用于抽除干燥或含有少量可凝性蒸氣的氣體。不適用于抽除含塵和對潤滑油起化學作用的氣體。

(四)噴射真空泵

噴射真空泵屬于流體作用式機械，它是利用高速流體射流時壓力能向動能轉換所造成的真空來吸送流體的，既可用來吸送氣體，也可用來吸送液體。噴射泵的工作流體如果是蒸汽，則為蒸汽噴射泵;工作流體如果是水或其他液體，則稱為水或液體噴射泵。