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真空泵系統所用材料主要指真空管道系統、閥門及密封材料等.真空管道系統材質有金屬、橡皮和玻璃等幾類，它們各有特點，究竟采用何種視具體情況而定.管道與真空元件之間的聯結可采用焊接、熔接、法蘭盤聯結等.系統中的閥門分為金屬閥門和玻璃真空活栓兩種。真空系統中常用的密封材料有真空封油、真空封臘、真空封泥、真空漆和環氧樹脂等.

采用油擴散泵的真空系統中，為防止油蒸汽進入被抽系統，常采用擋板或冷阱來隔斷油蒸汽。在冷阱中可放置干冰或液氮以冷凝和吸附系統內油蒸汽，并可進一步提高真空度。